题目

如何判断多晶硅硅棒晶粒大小?温度高低会影响电阻率吗

提问时间：2021-03-03

答案

考察多晶硅晶粒的大小,要切片,磨、抛,腐蚀,金相显微镜查看,比对.如观察硅的缺陷一样,比较麻烦.
在硅芯上氢还原生长多晶硅,硅芯的温度、硅棒的直径、生长的时间等对多晶的电阻率是有影响的,这种影响就使多晶硅产品按不同的电阻率分成不同的档次.
要通过试验,找到硅芯的温度变化、硅棒的直径、生长的时间、生产成本与多晶电阻率之间的关系（假定其他工艺条件不变）,才能有效地控制多晶硅的生产.这过程中经验比理论更有用.
祝好运!