题目

请问一下测硅料电阻率四探针的工作原理是什么,还有测硅料P/N的工作原理

提问时间：2020-07-24

答案

四探针法测量电阻率有个非常大的优点,它不需要较准；有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法较准.
与四探针法相比,传统的二探针法更方便些,因为它只需要操作两个探针,但是处理二探针法得到的数据却很复杂.如图一,电阻两端有两个探针接触,每个接触点既测量电阻两端的电流值,也测量了电阻两端的电压值.我们希望确定所测量的电阻器的电阻值,总电阻值：
RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；
其中RW是导线电阻,RC是接触电阻,RDUT是所要测量的电阻器的电阻,显然用这种方法不能确定RDUT的值.矫正的办法就是使用四点接触法,即四探针法.如图二,电流的路径与图一中相同,但是测量电压使用的是另外两个接触点.尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压,但由于电压计的内阻很大,通过电压计的电流非常小,因此,导线电压与接触电压可以忽略不计,测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值.
四探针法通过采用四探针法取代二探针法,尽管电流所走的路径是一样的,但由于消除掉了寄生压降,使得测量变得精确了.四探针法在Lord Kelvin使用之后,变得十分普及,命名为四探针法.